「至」與「致」雖同屬「至」部，不過二字的用法明顯有別。

「至」有「到』的意思，用法如「從古至今」、「一號至十號」等；《論語‧子罕》引孔子的話說：「鳳鳥不至」，意謂聖人不出世，所以鳳凰也不出現了。

「至於」通常解釋為「提起」或「談到」，當我們轉換話題，談到相關或附帶的事情，常用「至於」、「至如」來連接，如：「『至於』你要求的那件東西，等以後再說吧。」「至於」也有達到某種程度的意思，如「這麼一點小事，何『至於』如此慌張！」

「致」則指「送給」、「引來」或「獲得達到」，如「致贈」、「招致」、「致富」等。「以致」往往當作表示結果或功效的連接詞，《周禮‧秋官‧小司寇》有所謂：「『以致』萬名而詢焉」，現在我們也習慣這樣說：「他平時不用功，『以致』學期成績不理想。」

很明顯的，「至於」不可寫成「致於」，「以致」也不可用「以至」代換！