陽明交大研發超穎透鏡 登國際期刊

張穎容 |2025.04.17
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【記者張穎容綜合報導】陽明交大電子研究所開發出一款超穎透鏡,能成功駕馭深紫外光(Deep Ultraviolet, DUV),解決光電及半導體領域的挑戰,獲選國際期刊《Nano Letters》的封面故事。

深紫外光波長比UVA、UVB還短,在半導體與生醫影像等領域應用廣泛,但控制元件往往造價不斐而局限應用。

陽明交大研發出的這款超穎透鏡,厚度僅有380奈米,遠小於人類的頭髮,但光學操控卻能達到深紫外光聚焦的極限,獲選國際期刊《Nano Letters》的封面故事。

實驗證實,透鏡不但能作為深紫外光影像攝影裝置拍攝奈米結構,也能完成深紫外光超快雷射雕刻,兩項結果都是國際上首次利用超穎透鏡完成的研究成果,展現深紫外光超穎透鏡應用的無限可能。

陽明交大電子研究所助理教授曾銘綸表示,深紫外光相關技術在基礎科學研究及工業場域都有重要應用價值,但相關的裝置相較於一般常見近紅外光或是可見光的裝置昂貴許多,例如應用於精密深紫外雷射加工的鏡頭,造價就要百萬台幣。

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