「須臾」一詞在佛經裡的使用可謂十分普遍，其起源也很早，東漢安世高（約西元一六一年）翻譯的《佛說奈女祇域因緣經》裡就有提到︰「我朝來未食，還必當死。寧可假我須臾，得於山間啖果飲水，飽而就死乎。」

其中「須臾」即片刻之義，「啖」為食義。而安世高所譯六部經典中，就見十一次「須臾」。

稍後第一位翻譯大乘經典的支婁迦讖（約西元一八○）翻譯的《佛說遺日摩尼寶經》︰「心譬如流水，上生泡沫須臾而滅；心譬如天暴雨，卒來無期。」也寫到「須臾」一詞，文意是心念生滅有如水生之泡沫，片刻就消失了，去來無法預料。

支婁迦讖也不遑多讓，他所翻譯五部經典中，「須臾」也出現十次。

可見「須臾」用於佛經的起源極早。另在各種佛經檔案中提到「須臾」一詞的有三○五三卷，總計出現五六一七次，其意思全用作「片刻」或指時間「一下子」。當中包括著名經典︰《長阿含經》五次、《中阿含經》十四次、《雜阿含經》二十八次、《增一阿含經》二十三次；姚秦鳩摩羅什所翻譯的《妙法蓮華經》十六次，唐玄奘翻譯的《大般若波羅蜜經》也出現六十五次，實叉難陀翻譯的《大方廣佛華嚴經》有四十六次。

總之，自東漢、三國、晉、南北朝、隋、唐、五代、宋等各代譯經、高僧傳，以及宋、元、明、清各朝之禪宗語錄、經疏、感應錄等等，皆普遍使用到「須臾」一詞，可見此詞彙的普及化。

在中國古籍當中，戰國時代的《荀子．勸學篇》：「吾嘗終日而思矣，不如須臾之所學也」；與代表孟子思想的《禮記．中庸》：「道者也，不可須臾離也；可離，非道也」（指遵循著純善天性做人處事，為吾人片刻都不可離的準則）。

二則典籍均是早於佛經使用「須臾」一詞作為片刻之義的例句，可見大約自東周（約西元前四○○年）之時，已常使用此口語。

反而目前的普通話早已不講「須臾」了，連白話小說也不常用；不過閩南語倒是保留了此一詞彙，只是在「須臾」前加上數詞「一」，連起來就成「一須臾」，因此，只要是表示一瞬間、一下子、片刻的，都很順口的說「一須臾」。

之前有一篇〈「甌」是杯子的統稱〉文中也有提到「甌臾」，說明「臾」為語尾助詞，古音為（ì）今音為（á）；由古音轉至今音，當中有一轉折過程，由「甌臾」而「甌也」再為「甌阿」，由閩南語之注音可以看出端倪，先是（ㄧ3）臾音，加上（ㄚ）阿音轉為（ㄧㄚ4）也音，再簡化（ㄧ）臾音而獨留（ㄚ4）阿音。

此程序為先增加單母音（ㄚ），而成為雙母音之（ㄧㄚ4），由於雙母音之發音較不自然，經過長時間的口音變化，原有的單母音（ㄧ）便自然的遭到淘汰，而僅留下單母音（ㄚ4）。

在語尾助詞經過此一蛻變之後，「一須臾」才能夠成為相當流暢的口語，其國語注音就應是（.ㄐㄧ ㄒㄧ ㄚ4），國際音標就作（.chi̍t si à）。