【本報台北訊】擁有全球最先進製程的台積電南科18a廠，前天晚間驚傳製程出狀況，部分產線停擺，雖然台積電即時調度其他氣體供應，並強調對營運無造成顯著影響。但據供應鏈透露，截至昨天傍晚，台積電廠務忙成一團，全力清理受汙染的氧氣槽，估計需花費3到4個工作日才能讓生產作業恢復正常水準。

這也是台積電南科廠區在2019年1月發生光阻劑汙染事件之後，南科廠區再度爆發製程受汙染事件，而且都是發生在最先進製程的主要生產重鎮，供貨對象都是國際知名大廠，事件後續備受關注。

台積電發言體系昨表示，南科18a部分廠區來自廠商供應的氣體疑似受到汙染，已即時調度其他氣體供應。台積電強調，「為確保生產品質無虞，目前正進行嚴密後續作業。此事件目前已知對營運並無造成顯著影響，後續將持續追蹤。」

半導體業者表示，半導體製程高達700多道，約有270道需使用氧氣，涵蓋蝕刻、物理及化學研磨，幾乎都是核心製程，且南科18a是台積電最先進5奈米核心製程，目前生產項目又是蘋果下世代5G手機要用的核心處理器和超微新一代處理器，此事件可說是直中要害。

目前還無法確認台積電18a廠此次因氧氣汙染造成的損失，但相關供應商已被通知今日起減量供貨，預料影響不輕，但實際影響有待台積電進一步說明。

台積電2019第1季發生光阻液受汙染，受影響客戶包括蘋果、高通 、輝達 、 超微、海思、聯發科等重量級客戶，並造成單季營收短少5.5億美元，毛利率減少2.6個百分點。這次18a廠重要性更高，是台積電生產5奈米核心廠區。