【本報台北訊】為協助台灣半導體產業界布局未來三年甚至至十年後的技術，官員透露，行政院將在五年投入43.72億元推動「Å（埃米，0.1奈米）世代半導體計畫」，先由政府「花學費」從設備，儀器，材料與製程技術瓶頸等，在0.1奈米以下領域探路，作為半導體業界未來投資方向的「探照燈」。

本計畫兩項子計畫，一為經濟部「Å世代半導體─先端技術與產業鏈自主發展計畫」，經費37億元，要從半導體設備、關鍵材料、Å世代半導體技術與人才培育與中心維運等四面向著手，持續鞏固台灣半導體產業領先優勢。

二為科技部「突破半導體物理極限與連結AI世代計畫」，經費6.72億元，就半導體產業未來所需檢測設備、技術進行研發與建置，也發展極紫外光（EUV）材料與建置元件量測設備建置，深植國內專業技術與研發能量。

官員說，半導體技術在1奈米以下會開始遇到瓶頸，但並非不可突破，因半導體界尚無如此前瞻的研究，產業界也尚無餘力處理，因此政府在諮詢半導體界意見後，挑出基本可探索的方向，來進行前瞻技術研究，建立此領域的基礎技術能量。

官員指出，該五年期計劃執行期間為2021年至2025年，經費來自前瞻基礎建設預算，計畫內容也已經獲得行政院核定，只要待立法院通過最新的前瞻預算案後，就可以自明年起開始執行。