加入奈米雙晶 晶片壽命多10倍

 |2008.08.23
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【本報台北訊】清華大學研究團隊在積體電路晶片的銅導線中,導入高密度奈米雙晶結構,發現銅原子的擴散行為產生遲滯現象,大幅減少斷路、短路的機率,可使電子晶片的壽命延長10倍,甚至可使用100年。相關成果刊登在8月22日出刊的國際知名期刊《科學》(Science)。

清華大學材料科學與工程系副教授廖建能表示,目前半導體元件有一定的使用壽命,主要原因出在積體電路晶片中的銅導線,銅導體容易受到高電流密度的影響,產生遷移行為,以致造成短路、斷路,也就是電腦、手機故障的主因之一。

研究人員透過利用「臨場超高真空穿透式電子顯微鏡」,成功觀察到銅原子在高密度電流作用下,晶體表面與晶界接合處的遷移行為。並進一步發現,只要將高密度奈米雙晶結構,導入積體電路晶片中的銅導線,就能讓銅原子的遷移速度變慢,甚至停滯,有效降低電子元件失效問題,進而提高產品壽命。

研究小組成員、清華大學材料科學與工程系副教授廖建能表示,此項突破性成果,是全球首度直接觀測到原子在晶界擴散的行為,將影響下一世代積體電路製程技術的開發,影響範圍包括了電腦PCU、手機晶片以及半導體等產業,產值可能超過數千億台幣。台積電率先表達產學合作的意願,一旦進入實際製程,對台灣電子產業發展將有驚人的影響。

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