限售曝光機 ASML執行長:反促陸自主研發

 |2026.05.23
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【本報綜合外電報導】荷蘭曝光機巨頭艾司摩爾(ASML)執行長福克(Christophe Fouquet)近日警告稱,限制曝光機出口中國大陸市場,反而加速大陸自主研發替代設備的步伐。他形容,這是「存亡問題」。福克呼籲,針對晶片製造設備銷往大陸制定更為一致的規則。

美國國會4月提出《硬體技術多邊協調管制法案(MATCH法案)》,要求荷蘭和日本等盟友遵守美國出口管制措施,防止大陸獲取先進晶片製造設備。這項法案在現行極紫外光(EUV)機對大陸全面禁售的基礎上,將浸潤式深紫外光(DUV)機等設備也納入全面限制。

福克說,艾司摩爾目前向大陸出售的DUV設備,本身就是基於2015年的技術,為8代之前的晶片技術;如果進一步收緊限制,只會加速大陸自主研發替代設備的步伐。

他比喻說:「如果我將你放到沙漠裡,告訴你今後再也沒有食物來源了,你需要多久才開墾出自己的菜園?這是存亡的問題。」

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