【本報綜合外電報導】美日荷相繼對中國半導體產業出重拳，荷蘭政府30日祭出限制部分先進半導體製造設備出口的新規定，要求未來艾司摩爾（ASML）出口DUV深紫外光微影設備到中國大陸，須事先申請許可，新規定自9月1日生效。

製造業者出口 須先申請許可

國內半導體廠表示，由於DUV機台過去兩年面臨晶片荒，各代工廠擴增產能瘋狂搶貨，缺貨迄今未獲紓解，預料此管制令一出，恐讓大陸晶圓廠再擴大收購潮。但未來大陸晶圓升級勢必遭遇阻力，晶片設計基於分散風險，將加速轉單至台廠，台積電、聯電、力積電、世界，甚至外商格羅方德，都會受惠。

美國2022年10月以國安為由，對科林研發（Lam Research）和應用材料（Applied Materials）等美國企業出口晶片製造工具實施出口限制，並遊說其他主要供應商的國家採取類似行動。

大陸駐美大使館發言人劉鵬宇譴責美國行動，稱美方「蓄意封殺、束縛中國企業，強行搬遷產業，推動脫勾」，還稱中方會「密切關注事態發展、堅定維護自身利益」。

擁有晶片設備製造商尼康公司（Nikon Corp）、東京威力科創公司（Tokyo Electron Ltd.）的日本，也通過限制23種半導體製造設備出口的規定，並將在7月23日生效。

彭博資訊報導指出，荷蘭政府30日祭出新的管制措施，將迫使艾司摩爾出口部分DUV深紫外光微影設備到大陸時，須事先申請許可，9月起即將實施。

艾司摩爾曾於3月表示，預料荷蘭這項規定，將影響TWINSCAN NXT:2000i和其他更精密的設備。不過，艾司摩爾較舊型的DUV設備，如TWINSCAN NXT:1980Di等，也可能遭美國限制出口給陸6家陸企。知情人士表示，預料在新的規定中，外國設備就算只用了少量美國零件，也不得賣給法令中點名的陸企。

新管制措施 衝擊ASML股價

至於美國擬定的新規定，消息人士透露，可能會在7月下旬公布，將要求設備出口給6家陸企時，必須先獲得許可，其中包括大陸最大晶片製造商中芯國際（SMIC）經營的晶圓廠。

荷蘭當局新的出口管制，讓艾司摩爾股價在荷蘭股市一度應聲下挫逾2%。該公司隨後發布聲明表示，由於新的出口管制規定，該公司要出口最先進的DUV設備時，都需要先向政府申請出口執照，不過這些措施對公司2023年度甚至更長期的財務展望，不會有重大影響。

雖然新限制措施未具體提到大陸或艾司摩爾，但這些措施是限制3種型號的微影設備出售給大陸。艾司摩爾是半導體供應鏈最重要的製造環節之一，幾乎壟斷了先進晶片製造設備的市場。

荷蘭外貿部長施萊納馬赫說：「我們這麼做是出於國家安全考量，相關公司如今了解了自己的情況，可及時適應新的規範。」